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　　項目簡介

　　XPS，全稱為X-ray Photoelectron Spectroscopy(X射線光電子能譜)，早期也被稱為ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是一種使用電子譜儀測量X-射線光子輻照時樣品表面所發射出的光電子和俄歇電子能量分布的方法。

　　XPS可用于定性分析以及半定量分析, 一般從XPS圖譜的峰位和峰形獲得樣品表面元素成分、化學態和分子結構等信息，從峰強可獲得樣品表面元素含量或濃度。

　　1. X射線光電子能譜(XPS)可測試全譜、精細譜、俄歇譜、價帶譜，也可刻蝕后采譜得到深層的信息;

　　2. X射線光電子能譜(XPS)按元素個數收費(需要包含必測元素C，不能測試H、He元素);一個元素默認測一個軌道，若測試多個軌道計為多個元素;一個樣品默認一個測試位置，若測試多個位置計為多個位置;

　　3. XPS定量為半定量數據。原子百分含量小于5%的元素可能測不出明顯信號;

　　4. 測試默認單色化Al靶(Al Kα source)，能量1486.68eV;

　　常見項目

　　X射線光電子能譜(XPS)

　　微區XPS測試：除了材料的體相成分信息外，許多研究會關注材料表面深度約1 μm以內的微區結構和成分信息。

　　XPS深度剖析：可測試元素沿樣品深度上的含量變化。

　　結果展示

　　常見問題

　　1. XPS測試，譜圖如何校正、定標?

　　一般是以C-C峰284.6ev進行校正的，總譜、分譜是不同的測試方法，所有不是一起校正的，只校正分譜數據，總譜不用校正;價帶譜VB是以剛出峰的位置為0進行校正的。

　　2. XPS半定量處理時，元素測試了不同軌道的譜圖，定量以哪個為準?

　　定量是以元素的特征軌道譜圖為準，如果存在多個軌道，切忌重復計算;若不同元素間軌道有重合，一般需要掃一下元素的非特征軌道來計算含量